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电子洁净厂房的设计

文章出处:未知 人气:发表时间:2018-04-11 11:19

以芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间为代表的电子工业工程洁净室(区)除了对微粒的严格控制外,还对温湿度的控制、照度(甚至光源要求)微震等要求更严格,消除静电对生产产品的影响,从而使环境达到电子产品在洁净环境的生产工艺要求。

洁净室(区)的温、湿度应根据生产工艺要求确定当生产工艺无具体要求时,其温度可按20~26℃,相对湿度30%~70%采用。人员净化用室和生活用室的温度可按16~28℃采用。根据与国际ISO标注接轨的中国国家标准GB-50073,这类洁净室(区)的洁净度等级1-9级,其中1-5级,气流流型为单向流或混合流,风速0.2-0.45m/s;6级气流流型为非单向流,换气次数50-60次/h;7级气流流型为非单向流,换气次数15-25次/h;8-9级气流流型为非单向流,换气次数10-15次/h。

根据现行规范,电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态):不应大于65dB(A)

 

1.电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%,水平单向流洁净室不应小于40%,否则就是局部单向流了。

 

2.电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa

 

3.电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值。

 

4.补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

 

5.保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40㎡。

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